téhnologi pipa gas-purity tinggi mangrupa bagian penting tina sistem suplai gas-purity tinggi, nu mangrupakeun téhnologi konci pikeun nganteurkeun gas-purity tinggi diperlukeun ka titik pamakéan sarta masih ngajaga kualitas mumpuni;Téknologi pipa gas purity luhur kalebet desain sistem anu leres, pilihan fittings sareng asesoris, konstruksi sareng pamasangan, sareng uji coba.Dina taun-taun ayeuna, sarat anu beuki ketat dina kamurnian sareng eusi najis gas-gas murni dina produksi produk mikroéléktronik anu diwakilan ku sirkuit terpadu skala ageung parantos ngajantenkeun téknologi piping gas-purity luhur beuki prihatin sareng nekenkeun.Di handap ieu tinjauan ringkes pipa gas-purity luhur tina pilihan bahanof konstruksi, kitu ogé ditampa jeung manajemén sapopoé.
Jenis gas umum
Klasifikasi gas umum dina industri éléktronika:
Gas umum(Gas bulk）: hidrogén (H2)nitrogén (N2oksigén (O2), argon (A2), jsb.
Gas hususanu SiH4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,HCL,CF4 ,NH3,POCL3, SIH2CL2 SIHCL3,NH3, BCL3 ,SIF4 ,CLF3 ,CO,C2F6, N2O,F2,HF,HBR SF6…… jsb.
Jenis gas husus umumna bisa digolongkeun kana corrosivegas, toksikgas, kadurukgas, kadurukgas, inertgas, jsb. Gas semikonduktor anu biasa dianggo umumna digolongkeun kieu.
(i) Korosif / toksikgas: HCl, BF3, WF6, HBr , SiH2Cl2, NH3, PH3, Cl2, BCl3…jsb.
(ii) Kadurukgas: H2, CH4, SiH4, PH3, AsH3, SiH2Cl2, B2H6, CH2F2,CH3F, CO…jsb.
(iii) kadurukgas: O2, Cl2, N2Aduh, NF3… jsb.
(iv) Inertgas: N2, CF4, C2F6, C4F8,SF6, CO2, Ne, Kr, He…jsb.
Seueur gas semikonduktor ngabahayakeun pikeun awak manusa.Khususna, sababaraha gas ieu, sapertos SiH4 durukan spontan, salami bocor bakal meta ganas jeung oksigén dina hawa sarta mimiti kaduruk;jeung ASH3kacida toksik, sagala leakage slight bisa ngabalukarkeun resiko hirup manusa, éta alatan bahaya atra ieu, jadi sarat pikeun kasalametan desain sistem utamana tinggi.
Lingkup aplikasi gas
Salaku bahan baku penting industri modern, produk gas loba dipaké, sarta sajumlah badag gas umum atawa gas husus dipaké dina metallurgy, baja, minyak bumi, industri kimia, mesin, éléktronika, kaca, keramik, bahan wangunan, konstruksi. , ngolah kadaharan, ubar sareng séktor médis.Aplikasi gas boga dampak penting dina téhnologi luhur widang ieu hususna, sarta mangrupa gas bahan baku indispensable na atawa gas prosés.Ngan ku kabutuhan sareng promosi rupa-rupa séktor industri énggal sareng élmu sareng téknologi modéren, produk industri gas tiasa dikembangkeun sacara kabisat tina segi rupa, kualitas sareng kuantitas.
Aplikasi gas dina microelectronics sareng industri semikonduktor
Pamakéan gas sok maénkeun peran anu penting dina prosés semikonduktor, khususna prosés semikonduktor parantos seueur dianggo dina sagala rupa industri, ti ULSI tradisional, TFT-LCD ka industri mikro-éléktro-mékanis (MEMS) ayeuna, sadayana nu ngagunakeun prosés semikonduktor disebut salaku prosés manufaktur produk.Kamurnian gas gaduh dampak anu penting dina kinerja komponén sareng ngahasilkeun produk, sareng kasalametan suplai gas aya hubunganana sareng kaséhatan tanaga sareng kasalametan operasi pabrik.
Pentingna pipa-purity tinggi dina angkutan gas-purity tinggi
Dina prosés lebur stainless steel sarta nyieun bahan, ngeunaan 200g gas bisa diserep per ton.Saatos ngolah stainless steel, henteu ngan permukaanna caket sareng sagala rupa rereged, tapi ogé dina kisi logamna ogé nyerep sajumlah gas.Nalika aya aliran hawa ngaliwatan pipa, logam nyerep bagian ieu gas bakal asup deui aliran hawa, ngotoran gas murni.Nalika aliran hawa dina tabung nyaéta aliran anu teu discontinuous, tabung nyerep gas dina tekenan, sareng nalika aliran hawa lirén ngaliwat, gas anu diserep ku tabung ngabentuk serelek tekanan pikeun ngabéréskeun, sareng gas anu direngsekeun ogé asup kana gas murni dina tabung. salaku najis.Dina waktos anu sami, adsorption sareng résolusi diulang, supados logam dina permukaan jero tabung ogé ngahasilkeun sajumlah bubuk, sareng partikel lebu logam ieu ogé ngotoran gas murni di jero tabung.Karakteristik tabung ieu penting pikeun mastikeun kamurnian gas anu diangkut, anu peryogi henteu ngan ukur kelancaran permukaan jero tabung, tapi ogé résistansi ngagem anu luhur.
Nalika gas kalayan kinerja corrosive kuat dipaké, pipa stainless steel tahan korosi kudu dipaké pikeun piping.Upami teu kitu, pipa bakal ngahasilkeun spot korosi dina beungeut batin alatan korosi, sarta dina kasus serius, bakal aya wewengkon badag tina stripping logam atawa malah perforation, nu bakal contaminate gas murni pikeun disebarkeun.
Sambungan transmisi gas-purity sareng kabersihan luhur sareng pipa distribusi tina laju aliran anu ageung.
Sacara prinsip, aranjeunna sadayana dilas, sareng tabung anu dianggo diwajibkeun henteu aya parobahan dina organisasi nalika las diterapkeun.Bahan kalayan kandungan karbon anu luhur teuing tunduk kana perméabilitas hawa tina bagian anu dilas nalika las, anu nyababkeun silih penetrasi gas di jero sareng di luar pipa sareng ngancurkeun kamurnian, kagaringan sareng kabersihan gas anu dikirimkeun, nyababkeun leungitna sagala usaha urang.
Kasimpulanana, pikeun gas-purity tinggi jeung pipa transmisi gas husus, perlu ngagunakeun perlakuan husus tina purity tinggi pipa stainless steel, nyieun sistem pipa-purity tinggi (kaasup pipa, fittings, valves, VMB, VMP) dina distribusi gas-purity tinggi ngawengku hiji misi vital.
Konsep umum téknologi bersih pikeun saluran transmisi sareng distribusi
Pangiriman awak gas anu murni sareng bersih kalayan pipa hartosna aya syarat atanapi kontrol anu tangtu pikeun tilu aspék gas anu bakal diangkut.
Purity gas: Eusi atmosfir najis dina purity gGas: Eusi atmosfir najis dina gas, biasana dinyatakeun salaku persentase kamurnian gas, kayaning 99,9999%, ogé dinyatakeun salaku rasio volume eusi najis atmosfir ppm, ppb, ppt.
Kagaringan: jumlah renik Uap dina gas, atawa jumlah disebut wetness, biasana dinyatakeun dina watesan titik embun, kayaning tekanan atmosfir titik embun -70.C.
Kabersihan: jumlah partikel contaminant dikandung dina gas, ukuran partikel µm, sabaraha partikel / M3 pikeun nganyatakeun, pikeun hawa dikomprés, biasana ogé dinyatakeun dina watesan sabaraha mg / m3 résidu padet teu bisa dihindari, nu ngawengku eusi minyak. .
Klasifikasi ukuran polutan: partikel polutan, utamana nujul kana pipa scouring, maké, korosi dihasilkeun ku partikel logam, partikel soot atmosfir, kitu ogé mikroorganisme, phages jeung ogé titik-titik kondensasi gas Uap-ngandung, jsb, nurutkeun ukuran ukuran partikel na dibagi kana
a) Partikel badag - ukuran partikel luhur 5μm
b) Partikel - diaméterna bahan antara 0.1μm-5μm
c) Partikel ultra-mikro - ukuran partikel kirang ti 0,1μm.
Dina raraga ningkatkeun aplikasi tina téhnologi ieu, sangkan bisa pamahaman perceptual ukuran partikel sarta unit μm, susunan status partikel husus disadiakeun pikeun rujukan.
Di handap ieu babandingan partikel husus
| Ngaran / Ukuran partikel (µm) | Ngaran / Ukuran partikel (µm) | Ngaran / Ukuran partikel (µm) |
| Virus 0.003-0.0 | Aerosol 0.03-1 | Aerosolized microdroplet 1-12 |
| suluh nuklir 0.01-0.1 | Cet 0.1-6 | Lebu ngapung 1-200 |
| Karbon hideung 0.01-0.3 | Susu bubuk 0.1-10 | Péstisida 5-10 |
| Résin 0.01-1 | Baktéri 0.3-30 | lebu semén 5-100 |
| haseup roko 0.01-1 | Lebu keusik 0,5-5 | Sari 10-15 |
| Silikon 0.02-0.1 | Péstisida 0,5-10 | bulu manusa 50-120 |
| uyah crystallized 0,03-0,5 | lebu walirang kentel 1-11 | keusik laut 100-1200 |
waktos pos: Jun-14-2022