Kami ngabantosan dunya ngembang saprak 1983

Solusi téknologi pikeun sistem pangiriman gas anu luhur pikeun prosés semikonduktor

Téknologi Peripan gas tinggi mangrupikeun bagian penting tina sistem pasai beusi anu sénsitip tinggi, nyaéta téknologi konci pikeun nganteurkeun bénsikan tinggi pikeun pangalindungan sareng masih kedah ngajaga kualitas sareng tetep ngajaga kualitas sareng tetep ngajaga kualitas sareng tetep ngajaga kualitas sareng tetep ngajaga kualitas sareng tetep ngajaga kualitas sareng tetep bakal mertuaan kualitas; Téknologi Puncatan Luhureun tinggi nyertakeun desain anu leres tina sistem, pilihan fitsemen sareng asesoris, konstruksi sareng pamasangan. Dina taun ayeuna, sarat anu bila dina kamurnian sareng instraten gas dnéph-gasa tinggi dina produksi intogrékéktor tinggi anu diwangun ku kebon gipulasi tinggi salajengna parantos merhatikeun. Ieu mangrupikeun gambaran ringkes tina pipping gas anu murni tina pilihan bahanof konstruksi, ogé katampi sareng manajemén poéan.

Jenis gas umum

Klasifikasi gas umum dina industri éléktronika:

Gas umum(Gas bulk): hidrogén (h2), nitrogén (n2), oksigén (o2), argon (a2), jsb

Gas khususaya Sih4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,Hcl,CF4 ,NH3,Poca3, Sih2cl2 Sihcl3,NH3,  Blc3 ,Sif4 ,Clf3 ,Co,C2F6, N2O,F2,Hf,Hob sf6...... jsb.

Jenis gas khusus tiasa umumna digolongkeun salaku korosipgas, toksikgas, kabeuleumgas,gas, inertgas, jsb. Anu biasana dipaké oriconduchor dipaké sacara umum digolongkeun saperti kieu.

(i) korosip / toksikgas: Hcl, bf3, Wf6, Hbr, sna2Cl2, Nh3, PH3, Cl2, Bcl3... jsb.

(ii) Flammabilitygas: H2, Ch4, Sih4, PH3, Ash3, Sih2Cl2, B2H6, Ch2f2,Chi3F, co ... jsb.

(iii) nyabakgas: O2, Cl2, N2O, nf3... etb.

(iv) inertgas: N2, Cf4, C2F6, C4F8,Sf6, Co2, Ne, KR, anjeunna ... ka etb.

Seueur gas semikondukor ngabahayakeun pikeun awak manusa. Khususna, sababaraha gas ieu, sapertos Sih4 draidus Spross, salami bocor bakal réaksi sareng oksigén dina hawa sareng mimiti ngabakar; sareng Asak3Kacida genting, salah sahiji bapa sakedik nyandak résiko kahirupan manusa, sabab sabab bahaya sacara jempé ieu, janten syarat pikeun kasalametan desainim jumlah panyarancang sistem bakal tinggi.

Aplikétkeun ruang bénsin  

Kusabab bahan bom perik dasar tina industri modéren industri, produk gas biasana dipaké, sareng sajumlah gas umum atanapi beusi khusus, strulterics, ubar sareng sékrési médis. Aplikasi ieu gas ngagaduhan pangaruh anu penting dina téknologi tinggi widang ieu khusus, sareng nyaéta gas bahan baku anu geus digunakeun atanapi prosés gas. Ngan sareng kabutuhan sareng promosi kanggo alamikor industri to sareng éléktrum modéren sareng téknologi, produk industri gas, kualitas sareng kuantitas.

Aplikasi gas dina microelectronics sareng industri semiconductor

Pamakéan gas sok kedah ningali peran anu penting dina prosés semikonductor, khususna prosés semikondang parantos dianggo dina rupa industri sareng narasina. The purity of the gas has a decisive impact on the performance of components and product yields, and the safety of the gas supply is related to the health of personnel and the safety of plant operations.

Pentingna pipa tinggi dina angkutan gas anu luhur

Dina prosés najis santan santun sareng nyieun bahan, sakitar 200g gas tiasa kaserep per ton. Saatos ngolah baja, sanés ngan ukur pangberkolan na caket kana sagala rupa teratur, tapi ogé dina kéra logam ogé kaserep gases. Nalika aya hawa udara ngaliwatan pipa, logam nyerep bagian ieu gas bakal lebetkeun deui hasil udara, polliping gas murni. Nalika seuneu anggur dina pipah mangrupikeun aliran anu dileungitkeun, tabung adsors gas, sareng nalika tempat udara ngabentuk udara anu lirén ku tube pikeun ngungkabkeun bénsin. Dina waktos anu sami, iklan sareng resolusi sareng resolusi diulang, ku kituna logam dina permukaan piping ogé ngahasilkeun sajumlah bubuk anu tangtu, sareng partikel helit sacara hadé ogé kipas gas. Ciri ieu pipahna penting pikeun mastikeun kaén gas anu diangkut, anu peryogi ngan ukur koper jero, tapi ogé jalan résistan.

Nalika gas kalayan kinerja koréksi anu kuat pikeun dipaké palebatan baja stabil resosion-tahan kedah dianggo pikeun pipa. Upami teu kitu, pipip bakal ngahasilkeun bintik korosi di beungeut ageung disegel, sareng dina kasus anu serius, bakal bakal aya partorasi logam atanapi anu bakal nyerep gas anu séhat.

Hubungan kasucian tinggi sareng transmisi gas sareng pembersihan saluhur sareng pipa distribus tina tingkat aliran anu ageung.

Sacara prinsip, sadayana diantarana disas, sareng tabung anu dianggo diperyogikeun henteu aya parobahan organisasi nalika linggih diterapkeun. Bahanna kalayan kandungan murampik bon karbon mah kanggo perjangjian hawa tina bagian-bagian anu disasir nalika laséhat, anu masihan penetrasi gas, perlenggun sareng kaseueus sadaya usaha urang.

Kasimpulan, pikeun gas dedilna sareng pipa transmisi gas khusus, perlu nganggo pengobatan Kompélan skiinan luhur (VMB) dina kamampuan fMBiba tinggi, VMP) dina misi penting-kasturi anu tinggi, VMB) dina misi penting-kasturi anu tinggi, VMB) dina misina anu kasohor.

Konsép umum tina téknologi bersih kanggo pipa pamutahiran sareng pipa pipel

Dihantuan awak anu murni sareng bersih sareng pipa hartosna aya syarat-syarat atanapi kadali pikeun tilu aspék gas bakal diangkut.

Kenurititas gas: eusi suasana impuritas di Purnal GGAS: eusi suasana impuritas di gas, biasana dikedalkeun salaku persentase séréd gas, ppb.

Kerriiki: jumlah sesah di gas, atanapi jumlah anu disebut baseuh, biasana dedaran dina watesan titik susah, sapertos tekanan atmosfir -70. C.

Kabersihan: Jumlah parut parutit anu aya dina gas, ukuran partikel tina μm, sabaraha partikel / m3 pikeun nyatakeun, anu nyertakeun eusi minyak.

Konstratif ukuran ukuran: partikel polut, utamina katujuran kana cipeline, ngagem, korosén anu ngandung mikroortion dipuntunaan, jsb., Jabaharna aya.

a) partikel ageung - ukuran partikel di luhur 5μM

b) partikel - diaméter bahan antara 0,1μm-5μm

c) partikel ultra-micro - ukuran partikel kirang ti 0,6μm.

In order to enhance the application of this technology, to be able to perceptual understanding of particle size and μm units, a set of specific particle status is provided for reference

Ieu mangrupikeun ngabandingkeun partikel khusus

Nami / ukuran partikel (μm)

Nami / ukuran partikel (μm) Nami / ukuran partikel (μm)
Virus 0.0033-0.0 Aerosol 0,03-1 Mikrodrlets Aerosolized 1-12
Suluh nuklir 0,01-0.1 Cet 0.1-6 Fly Ash 1-200
Karbon hideung 0,01-0.3 Bubuk susu 0.1-10 Kaayaan 5-10
Resin 0,01-1 Baktéri 0.3-30 Beban semén 5-100
Haseup rokok 0,01-1 Dukun keusik 0,5-5 Sari 10-15
Silikon 0,02-0.1 Jerrisid 0,5-10 Buuk manusa 50-120
Uyah kristal 0,03-0.5 Konsumén burness duka 1-11 Keusik laut 100-1200

Waktu Pasang: Jun-14-2022